Tehnologia de acoperire a mașinii de acoperire cu vid optic

2022-06-14

Mașinile optice de acoperire în vid sunt utilizate pe scară largă în industrie, cum ar fi camere pentru telefoane mobile, carcase pentru telefoane mobile, ecrane pentru telefoane mobile, filtre de culoare, lentile de ochelari etc. Standardul de precizie este foarte ridicat și pot fi acoperite diferite acoperiri, cum ar fi AR film antireflex, artă decorativă Filmele din plastic, filmele ceramice pentru motor, filmele reflectorizante îmbunătățite, filmele conductoare ITO și filmele antifouling au un procent ridicat de vânzări pe piață.

Ce tehnologie de procesare folosește mașina de acoperire cu vid optic pentru a acoperi atât de multe straturi?

Când mașina de acoperire cu vid optic se volatilizează și se acumulează, materiile prime sursă din sistemul de vid sunt încălzite sau se volatilizează electroni negativi cu fascicul ionic. Se suspectează că se află vapori pe suprafața optică. În timpul perioadei de volatilizare, în funcție de manipularea precisă a încălzirii, presiunea de lucru a pompei de vid și poziționarea și rotația precisă a substratului, se poate produce o acoperire optică uniformă cu o grosime specială. Volatilizarea are caracteristici relativ blânde, ceea ce va face acoperirea din ce în ce mai liberă sau mai poroasă. Acest tip de acoperire liberă are capacitatea de a absorbi apa, ceea ce modifică indicele de refracție rezonabil al filmului, ceea ce va duce la caracteristici reduse. Acoperirile volatile pot fi îmbunătățite prin tehnologia de depunere asistată cu fascicul de electroni, în timpul căreia fasciculul de electroni este îndreptat către suprafața plachetei. Acest lucru îmbunătățește adsorbția stratului de suprafață optic relativ al materialului sursă, rezultând o cantitate mare de stres intern, care promovează o densitate mai mare și o durabilitate mai mare a acoperirii.

Câmpul electrostatic de înaltă energie poate accelera fasciculul de electroni în pulverizarea magnetronului cu fascicul de electroni (IBS) a dispozitivului de acoperire cu vid optic. Aceste viteze instantanee induc energie mecanică semnificativă în ionii pozitivi. La ciocnirea cu materialul sursă, fasciculul de electroni „pulverizează” moleculele materialului țintă. Ionii țintă pozitivi pulverizați cu magnetron (moleculele sunt transformate în ioni pozitivi prin zona de hidroliză) posedă și ei energie mecanică, rezultând o peliculă strânsă atunci când intră în contact cu suprafața optică. IBS este o tehnică precisă și repetabilă.

Dispozitiv de acoperire cu vid optic Pulverizarea cu magnetron cu plasmă este un termen general pentru o serie de tehnologii, cum ar fi pulverizarea cu magnetron cu plasmă de ultimă generație și pulverizarea cu magnetron. Indiferent de ce fel de tehnologie este, aceasta include crearea de plasmă. Ionii pozitivi din plasmă sunt accelerați în materialul sursă, se ciocnesc cu ionii pozitivi energetici liberi și apoi magnetronul pulverizează pe componenta optică țintă. Deși diferite tipuri de pulverizare cu magnetron cu plasmă au caracteristicile, avantajele și dezavantajele lor unice, putem combina această tehnologie împreună, deoarece au același principiu, diferența dintre ele, compara acest tip de tehnologie de acoperire și hârtie Celelalte tehnici de acoperire acoperite în sunt mult mai puțin diferite unele de altele.

Spre deosebire de depunerea prin volatilizare, materialul sursă utilizat pentru depunerea stratului molecular (ALD) nu se volatilizează din lichid, ci există imediat sub formă de vapori. Deși procesul utilizează vapori, temperaturile ambiante ridicate sunt încă necesare în sistemul de vid. În întregul proces de ALD, precursorul de cromatografie în gaze este livrat conform pulsului unic neintercalat, iar pulsul unic este auto-constrâns. Acest tip de procesare are o schemă unică de design chimic, fiecare impuls unic aderă doar la un strat și nu există o cerință specială pentru geometria stratului de suprafață optică. Prin urmare, acest tip de prelucrare ne permite să controlăm grosimea și designul acoperirii într-un grad relativ ridicat, dar va reduce viteza de acumulare.