Înțelegeți cum este realizat procesul de acoperire cu vid

Acoperire în videste un proces utilizat pentru fabricarea materialelor cu film subțire de înaltă calitate. Produce filme subțiri prin evaporarea termică sau prin sputtering materiale organice sau anorganice pe suprafața unui substrat în condiții de vid. Acest articol va introduce în detaliu implementarea acoperirii cu vid.

Procesul de acoperire în vid include următorii pași:

1. Alegeți substratul și materialul potrivit

Alegerea substratului și materialului potrivit este primul pas în acoperirea cu vid. Substratul poate fi sticlă, plastic, metal sau alte nanomateriale. Materialele pot fi organice sau anorganice, cum ar fi metale, semiconductori, oxizi sau nitri.

2. Încărcați sistemul de acoperire cu vid

Al doilea pas este încărcarea substratului și a materialelor în sistemul de acoperire cu vid. Sistemul de acoperire în vid include o cameră de vid, un evaporator metalic, un sputter și un sistem de control. Camera de vid este un spațiu închis utilizat pentru a menține un mediu de vid, evaporatori de metal și sputters sunt dispozitive utilizate pentru evaporarea sau pulverizarea materialelor pe substraturi, iar sistemul de control este utilizat pentru a monitoriza și regla mediul de vid și evaporarea materialelor sau viteza de sputtering.

3. vid

După încărcarea materialului și a substratului, camera de vid trebuie evacuată. Aimuarea este un pas foarte important, deoarece menținerea unui mediu de presiune scăzută și de înaltă puritate poate garanta calitatea membranei. Mediul de vid este de obicei sub 10^-6 mbar pentru a exclude moleculele de gaz și alți poluanți.

4. Evaporarea materialelor sau sputtering -ul

Când mediul de vid atinge presiunea dorită, materialul poate fi evaporat sau sputter pe substrat. Există două metode de evaporare a materialelor: evaporarea termică și evaporarea fasciculului de electroni. Sputtering are, de asemenea, două metode: sputtering de magnetron și sputtering cu arc. Orice metodă este utilizată, trebuie controlată evaporarea materialului sau rata de pulverizare și grosimea filmului.

5. Faceți film cu mai multe straturi

Odată ce o membrană cu un singur strat a fost fabricată, mai multe straturi pot fi stivuite pentru a forma un compozit. Pot fi utilizate diferite materiale și procese de depunere, cum ar fi depunerea alternativă, co-depunerea materialelor cu mai multe arme și depunerea zonată.

6. Testarea calității membranei

Ultimul pas este testarea calității membranei. Testele pot include grosime, proprietăți fizice, proprietăți optice și proprietăți electrice, printre altele. Determinați dacă materialul membranei îndeplinește cerințele în conformitate cu rezultatele testelor.

Pe scurt, tehnologia de acoperire cu vid este o metodă de realizare a filmelor subțiri de înaltă calitate. Trebuie să selecteze substratul și materialul corespunzător, să încarce sistemul de acoperire în vid, să aspiriți, să se evapore materiale sau să se spulbească, să facă film cu mai multe straturi și să testeze calitatea filmului. Tehnologia de acoperire în vid a fost utilizată pe scară largă în domeniul electronică, optică, medicamente și energetice.